Bazele tehnologice ale microelectronicii Imprimare
Vineri, 30 Ianuarie 2009 10:12
Codul disciplinei DIS309M
Numar credite 4
Specializarea
Microelectronica, optoelectronica si nanotehnologii
Obiective
Familiarizarea cu principalele operaţii tehnologice implicate în tehnologia de prelucrare a materialelor semiconductoare. Familiarizarea cu principalele operaţii tehnologice implicate în realizarea dispozitivelor semiconductoare. Realizarea conexiunilor dintre parametrii de proces şi calitatea dispozitivelor realizate.
Descriptori Creştere de cristale pure şi impurificate controlat. Depunere de pelicule semiconductoare, izolatoare şi metalice. Difuzie şi implantare ionică. Oxidare termică. Litografie şi corodare selectivă.
Documente
Fisa disciplinei | Programa analitica
Resurse Internet
Pagina cursului | Moodle
Titular
Şef lucrări dr.ing. Romeo Ghinea (curs, laborator)

Ultima actualizare în Marţi, 15 Septembrie 2009 15:40